특징
- 여러 종류의 가스와 유량범위를 소프트웨어에 의한 PC에서 변환하여 바로 사용할 수
있어, 비용과 시간적인 측면에서 매우 절감할 수 있습니다.
- Digital 방식으로 정밀도가 ±1% 이내로 우수하고, 응답성도 전영역에서 1초이내로
매우 우수합니다.
- 유량범위는 10cc/min ~ 50L/min (주문에 의해 100L/min. 까지도 가능)
- RS485 등 통신기능을 표준으로 장비하였습니다.
- RoHS, CE 규격 인증
- 센서 발열부가 가스와 비접촉하기 때문에 가연성 가스의 유량제어가 가능합니다.
- 여러 종류의 가스와 유량범위를 소프트웨어에 의한 PC에서 변환하여 바로 사용할 수
있어, 비용과 시간적인 측면에서 매우 절감할 수 있습니다.
- Digital 방식으로 정밀도가 ±1% 이내로 우수하고, 응답성도 전영역에서 1초이내로
매우 우수합니다.
- 유량범위는 10cc/min ~ 50L/min (주문에 의해 100L/min. 까지도 가능)
- RS485 등 통신기능을 표준으로 장비하였습니다.
- RoHS, CE 규격 인증
- 센서 발열부가 가스와 비접촉하기 때문에 가연성 가스의 유량제어가 가능합니다.
- Option에 의해 Software에 의한 데이터분석, 관리가 가능
- Low cost, 빠른 납기, 신속한 A/S로 고객의 제품 경쟁력 확보.
- 주문시 가스종류와 유량을 알려 주세요.
규격
- 대상 Gas : N2, Air, He, Ar, O2, CO2, Other gas
- 유량 범위 : DF-200 : 10/30/50/100/300/500SCCM, 1/3/5SLM
DF-250 : 10SCCM~10SLM, 20~50SLM
- Digital Type
- Accuracy : ±1% 이내
- 응답속도 : full scale 1초 이내
- 통신 : Digital RS485에 의해 최대 99대까지 연결 가능.
- Valve type : N/C solenoid valve poppet valve
- Control range : 2% ~ 100% F.S
- 내압 : 980kPa
- Joint : 기본 1/4SWL
- Sealing 재질 : Viton 재질
Read-Out Unit